從99%到100%，看似只是1%的進步，對于芯片制造廠的排氣管道風閥而言，卻是實現質的改變。芯片生產過程中，往往會產生少量的有毒有害氣體，如何將這部分氣體徹底排出車間，影響著生產車間的安全干凈和生產效率，也關乎生產工人們的健康安全。

2020年落戶通州灣示范區的江蘇晨達半導體科技有限公司，就是為半導體生產工廠提供專業的制程排氣系統工程服務，包括排氣管道和風閥的研發、生產和安裝等，是眾多芯片大廠追“芯”路上的重要配套“伙伴”，該公司目前處于行業前三甲，服務對象包括中芯國際、長江存儲、武漢新芯等。

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“因為芯片廠里面有許多種毒氣、酸堿或者有機化學品，在生產芯片的過程中，這些特殊氣體和化學品必須從生產廠房里排出，所以就通過我們的管道排到室外，經過適當環保處理，達到環保法規的排氣標準之后才能排到大氣里。”江蘇晨達半導體科技有限公司總經理高瑞祥說。

據了解，該公司首創的將閥門葉片做三元乙丙膠熱處理注模全面包覆工藝，借此達到以膠和葉片本體直接接觸，以膠體本身之柔韌性，在承受2000psi之高氣壓下，保持葉片間隙不泄漏、膠體不脫落，最大化改善以往業界閥門氣密性不良以及氣密條容易脫落的缺點，讓漏氣量降到最低。“最讓我們感到驕傲的是，自主研發的閥門產品達到國際氣密標準的最高等級，而經上海同濟大學實驗室實測，泄漏率已經遠超世界最高級水平，目前已積極申請國際認證。”高瑞祥說。

為了方便記者理解，高瑞祥特意在白色黑板上，畫出了排氣管道、風閥以及芯片廠排氣設備的示意圖，隨后在風閥位置寫下“短循環”三個字，高瑞祥告訴記者，一般排氣管聯通多個風閥，排氣過程中會有一個風閥關閉，如果氣密性達不到100%，這個即使關閉的風閥也會倒吸入一部分有毒有害氣體，不利于充分排出氣體，同時造成能耗的浪費。

在高瑞祥看來，風閥氣密性從99%到100%，這僅僅1%的進步，對于芯片廠管道排氣而言至關重要，同時也為江蘇晨達帶來可觀的經濟效應。風閥在整個排氣管道系統的占比面積僅十分之一，提升1%卻意味著風閥的價值卻翻了5-10倍。高瑞祥告訴記者，以前風閥都依賴進口，如今實現自主研發生產后，成本降低到原來的三分之一，對于芯片廠而言無疑吸引力巨大，同時這也是江蘇晨達得的市場競爭力所在，今年銷售有望超6000萬元。

“風閥本來是金屬對金屬，可能因為金屬的特性，沒辦法完全氣密，所以我們就想是不是在外面用軟性的膠把它包覆起來，兩個夾起來后就會完全密合了。”高瑞祥告訴記者，這項研發創新用時半年，是公司員工們思維碰撞而產生，經過第三方實驗確實可行。目前，已申請了方形和圓形兩種風閥專利。

隨后，高瑞祥又帶著記者感受真實的排氣管道風閥，記者看到不銹鋼結構占據著排風管道的大部分體積，而圓形的風閥完全密合著，看不見閥門的縫隙。“透過風閥看，光線是無法照過來的。”高瑞祥頗為自信地說。除了風閥，管道還需要具備耐熱、防酸和防腐蝕等特性，看似不復雜的結構，卻也藏著不少“黑科技”，據統計，江蘇晨達自2020年落戶以來，已累計獲得17項專利。目前，江蘇晨達也在積極申報省高新技術企業。

今年57歲的高瑞祥從事半導體行業已有30多年，依舊希望在這條賽道上散發自身光熱，并給江蘇晨達和自身制定了明確目標：“接下來，我們還將進行生產工藝的創新，希望把芯片廠的環保處理設施也納入進來，形成更加系統的排氣系統體系，拿出一套整體解決方案，整體成本降低的同時，生產效率變得更高。”

揚子晚報/紫牛新聞記者 朱亞運 通訊員 陳玲麗

校對 徐珩

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